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光氧催化利用高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物。
光氧催化利用氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。臭氧对有机物具有较强的氧化作用。工业废气输入到净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束和臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。
光氧催化利用细菌的分子键，破坏细菌的核酸，再通过臭氧进行氧化反应，达到净化杀灭细菌的目的。采用脉冲电晕吸附技术相结合的原理对有害气体进行消除，使有机物转变为无机物。
uv光氧废气处理设备选型说明
A、若采用UV光解技术净化废气，先需要确定个化学键键能，只有键能低于UV光子能量，才能被裂解。
上表中包含了氨、硫化氢、甲硫醇、甲硫醚等恶臭气体的所有化学键键长、键能参数，而光解氧化除臭设备产生的185nm紫外线光的光子能量达到647KJ/mol，185nm紫外线光波段中的成分广谱波长可短至100nm，其光子能量高达800KJ/mol以上，几乎所有恶臭气体的分子链都可被打开，从而起到消除臭味的作用。
B、废气分子只被裂解成原子、自由基是不够的，还需要通过臭氧将其氧化成稳定的小分子，如CO2、H2O等，从而达到废气净化的目的。顾需要有充分的氧气被UV光照射生成臭氧。
uv光氧废气处理设备注意事项:
1、为保证设备的净化效率，风机应设在废气净化器的后面。
2、废气净化器如安装在支架之上时，应与支架紧固连接；与排气管道之间的连接密封。
3、废气净化器应安装在室外，有足够的空间用来维护与维修；室外安装时，应加装防雨、遮阳的遮阳篷，以免影响废气净化器的正常使用寿命以及增加维护费用。
4、为保证废气净化器的净化效率，与设备出入风口连接的变径风管要尽量平顺。
5、废气净化器箱体应可靠接地，安装过程中不允许磕碰电极，严禁异物落在净化器内等。
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